Lösbare Flanschverbindungen

Zum Aufbau einer Vakuumanlage sind lösbare Flanschverbindungen notwendig um Equipment und Saugleitungen an die Kammer zu montieren. Je nach Anforderung und Größe kommen hier verschiedene Typen zum Einsatz.

Kleinflansch

Der Kleinflansch (KF nach DIN 28403 bzw. ISO 2861) ist die Standardverbindung für Vakuumleitungen mit einer Nennweite bis DN50.
Ab einer Nennweite von 63 kommen Flansche der ISO-K-Norm (DIN 28404 bzw. ISO 1609) zum Einsatz. KF- bzw. ISO-K-Flansche kommen typischerweise im Fein- und Hochvakuum zum Einsatz. Die Standardlösung für UHV-Anwendungen ist der CF-Flansch.

KF-Flansch: ein auf einen Zentrierring gespannter O-Ring wird dabei durch einen Spannring zwischen 2 Flanschen vorgespannt. Der Spannring hat schräge Innenflächen, passend zu den schrägen Außenflächen der Flansche. Durch eine Flügelmutter wird die Vorspannung erzeugt.

ISO-K-Flansch:

Die Dichtwirkung entsteht nach demselben Prinzip wie beim KF-Flansch, zur Aufbringung der Vorspannkraft werden jedoch Spannpratzen oder Klammerschrauben eingesetzt. Ein umlaufender Steg an der Außenseite des Flansches verhindert das Abrutschen der Klammerschrauben.

CF-Flansch

Die Dichtwirkung bei der CF-Flanschverbindung (ConFlat) entsteht durch plastische Verformung des Dichtrings in Folge der hohen Anpresskraft, die bei der Montage durch die besonders ausgeführte Dichtkante an den sogenannten CF-Flanschen entsteht. Diese Dichtungen können nur einmalig verwendet werden.

Links: Dichtkante CF-Flansch, rechts: Montage CF-Flansch