Was sind Vakuumkammern und wofür werden sie verwendet?

Vakuumkammern sind spezialisierte Behälter, die so konstruiert sind, dass mit Hilfe eines Pumpstands innerhalb der Behälter ein nahezu luftleeres Umfeld geschaffen werden kann. In dieser Atmosphäre ist es möglich, Prozesse durchzuführen, die unter normalen Umgebungsbedingungen nicht möglich wären.

Industrieller Einsatz von Vakuumkammern

Vakuumkammern werden in einer Vielzahl von Industrieanwendungen eingesetzt, darunter die Halbleiterindustrie, die Luft- und Raumfahrt, die Oberflächenbehandlung sowie Forschung und Entwicklung. Auch für die Lebensmittelindustrie sind Vakuumkammern wichtig.
Typische Anwendungen umfassen:

• das Beschichten von Oberflächen,
• das Trocknen empfindlicher Materialien,
• das Testen von Bauteilen unter extremen Bedingungen,
• die Produktion von Halbleitern,
• Prozesse unter Tiefsttemperaturen (Kryotechnologie)

Die präzise Steuerung von Druck, Temperatur und Gaszusammensetzung innerhalb der Kammer ist entscheidend, um gleichbleibend hohe Qualität und reproduzierbare Ergebnisse in diesen Prozessen zu gewährleisten.

Vakuumkammern sind somit unverzichtbar für viele High-Tech-Anwendungen.